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News Center必威体育(jitonggufen.com)-填补国内空白，国机沈阳仪表院成功研制12英寸高精密微水束耦合激光划片机
近日，国机团体所属沈阳仪表科学研究院有限公司（以下简称沈阳仪表院）承当的辽宁省科技立异重年夜专项高周详激光划片机工艺手艺及设备研...
近日，国机团体所属沈阳仪表科学研究院有限公司（以下简称“沈阳仪表院”）承当的辽宁省科技立异重年夜专项“高周详激光划片机工艺手艺及设备研究”顺遂经由过程验收，成功研制出国内进步前辈的12英寸高周详微水束耦合激光划片机，弥补了国内空白，在破解制约国产高端激光IC划切设备及要害工艺瓶颈的道路上迈出坚实一步。
划片机
是晶圆加工的主要装备，首要用于硅片、陶瓷、玻璃、蓝宝石等脆硬材料的划槽和切割加工，已普遍利用在IC、半导体传感器、LED、太阳能光伏基片、医用“B超”换能头、光学元器件等财产。我国传统划片机采取砂轮切割，存在崩边等问题，此刻采取的激光手艺又存在熔渣等问题。沈阳仪表院的该产物采取水导激光，很好地解决了这些问题，未来会利用在年夜范围集成电路出产上。
沈阳仪表院与东北年夜学、沈阳工业年夜学、中科院半导体研究所等高校和科研机构展开产学研结合攻关，项目组用时四年，冲破了一系列的手艺瓶颈，在水束光纤耦合、高周详活动节制等一系列要害手艺和工艺方面获得重年夜冲破，对误差拟合和及时抵偿、视觉瞄准、激光与微水束瞄准、装备靠得住性阐发、微水束激光加工等手艺和工艺进行了研究和利用，开辟了专用节制系统软件，成功研制出国内进步前辈的12英寸高周详微水束耦合激光划片机。
该产物今朝正在中国科学院半导体研究所示范利用，整体运行不变。项目相干手艺还直接增进了沈阳仪表院红外激光划片机和ZSH系列砂轮划片机产物的进级换代，手艺衍出产品6寸激光划片机于本年也正式进入市场服役。项目组下一步将对标国外装备，继续优化样机机能，同时，打算组建周详划切工程手艺尝试室，依托专业化手艺平台展开激光划片多种工艺研究，为沈阳仪表院高端设备制造财产的可延续成长供给有力支持。
(本文来自国机团体)